Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U000849, 0107U005753 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка мікросистемної технології сенсорних та мікромеханічних систем на основі кремнію. Назва етапу роботи Керівник роботи Козловський Сергій Іванович, Дата реєстрації 20-02-2008 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Створено мікро системну технологію, яка дозволяє виготовляти інтегральними методами прецизійні малогабаритні перетворювачі механічних параметрів (тиску, прискорення, сили, витрат рідин та газів) з низьким енергоспоживанням та низькою собівартістю. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити