Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0208U002027, 0107U005772 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення діагностичного комплексу рентгенодифрактометричних, рентгеноспектральних і СЗМ методик контролю та атестації напівпровідникових матеріалів і структур Назва етапу роботи Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 14-01-2008 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Розроблено нову теоретичну модель дифракції рентгенівських променів у складних системах з упорядкованою дефектною структурою та створено на її основі програмне забезпечення для досліджень структурних властивостей низькорозмірних систем. Реалізовано та адаптовано для діагностики локальних електричних та механічних властивостей напівпровідникових наноструктур зондові методи провідної атомно-силової мікроскопії, скануючої ємнісної мікроскопії та наноіндентування. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити