Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U002342, 0107U002663 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження фундаментальних властивостей плазми газових розрядів, що використовуються у сучасних технологіях. Назва етапу роботи Керівник роботи Проценко Іван Макарович, Дата реєстрації 09-02-2012 Організація виконавець Інститут фізики НАН України Опис етапу Метою НДР було комплексне експериментальне та теоретичне вивчення фізичних властивостей плазми газових розрядів та пучково-плазмових систем для вдосконалення існуючих та розробки нових технологічних застосувань. Об'єктами досліджень була плазма наступних газових розрядів при низькому та атмосферному тисках: розряду в схрещених електричному та магнітному полях з анодним шаром і замкнутим дрейфом електронів, циліндричного розряду магнетронного типу, жевріючого розряду з порожнистим катодом, розряду на суміші He, Xe та парів йоду, об'ємного бар'єрного розряду, розряду з рідкою стінкою на суміші повітря, парів води та етанолу. Використано методи атомної силової мікроскопії, емісійної та абсорбційної оптичної спектроскопії, рентгенівської фотоелектронної спектроскопії, зондові методики та вимірювання електрофізичних характеристик. Досліджено можливість використання травлячого та розпилюючого прискорювачів плазми на основі розряду з анодним шаром та потоків плазми з об'ємного бар'єрного розряду для здійснення орієнтації рідких кристалів (РК). Показано, що метод орієнтації, який ґрунтується на плазмово-пучковому травленні, може бути з успіхом застосованим не тільки для нематичних РК, а й поширеним на інші класи РК, такі як фероелектричні РК, ліотропні РК та реактивні мезогени. Продемонстровано, що напрямок орієнтації РК при цьому визначається конкуренцією двох факторів - анізотропією шорсткості протравленої поверхні та анізотропією зруйнованих поверхневих хімічних зв'язків. Також показано можливість створення орієнтуючих плівок нанесенням на підкладку розпилених низькоенергетичним іонно-плазмовим потоком неорганічних матеріалів. Реалізовано орієнтацію РК на полімерних підкладках комбінацією їх обробки потоком часток з атмосферного бар'єрного розряду та натирання. Показано, що імерсійно-імплантаційна обробка приймача випромінювання на основі сендвічових структур Ті - LiTaO3 іонами аргону з енергією 5-20 кеВ та дозою до 2*1016 іон/см2 приводить до збільшення променевої стійкості цих структур до лазерного випромінювання з = 1064 нм в 2.5 рази. Також встановлено, що імплантація Ar+ дозволяє підвищити чутливість приймача в ультрафіолетовій області випромінювання в 1.5 -2 рази. Встановлено закономірності змін у інтенсивності випромінювання ліній титану, аргону та реактивного газу (О2 або N2) плазмою циліндричного магнетрону в процесі синтезу плівок TiN та TiO2. На основі одержаних результатів запропоновано новий метод оптичного безконтактного контролю перебігу синтезу таких плівок в реальному масштабі часу. Досліджено плазмохімічні та кінетичні процеси в розрядах на сумішах He, Xe, I2. Встановлено, що лампи УФ випромінювання на основі таких розрядів мають підвищений коефіцієнт корисної дії та на порядок вищий термін експлуатації в порівнянні з лампами, що працюють на традиційних газових сумішах. Дослідження процесів в плазмохімічному реакторі на основі жевріючого розряду з рідким електродом на суміші повітря, парів води та етанолу показало його перспективність для збагачення вихідної суміші реактору молекулярним воднем. Встановлено,що максимум виходу водню відбувається при приблизно рівних концентраціях води та етанолу в розрядній суміші. Опис продукції Запропоновано метод підвищення променевої стійкості приймачів лазерного випромінювання на структурах Ті - LiTaO3 за допомогою плазмової імерсійної імплантації іонів Ar+. Розроблено методи створення орієнтуючих шарів для рідких кристалів за допомогою іонних та плазмових потоків при низькому та атмосферному тисках. Запропоновано метод оптичного контролю в реальному масштабі часу перебігу синтезу плівок TiN та TiO2 магнетронним розрядом. Знайдено оптимальні параметри конверсії С2Н5ОН в Н2 в плазмохімічному реакторі на суміші повітря, парів Н2О та етанолу. Автори роботи Баженов Володимир Юрійович Гончаров Олексій Антонович Добровольський Андрій Миколайович Леваш Леонід Васильович Проценко Іван Макарович Птушинський Юрій Григорович Самойлов Володимир Борисович Стеценко Борис Володимирович Ціолко В'ячеслав Володимирович Щедрін Анатолій Іванович Ярощук Олег Васильович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити