Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U005717, 0112U002842 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології осадження плівок нанокристалічного карбіду кремнію для виробництва високостабільних сенсорів температури на їх основі Назва етапу роботи Керівник роботи Лопін Олександр Володимирович, Дата реєстрації 26-12-2012 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис етапу Розроблено спосіб модифікації отичних властивостей плівок шляхом їх відпалу в кисні. Після відпалу в кисні в плівках консолідованого нанокристалічного карбіду кремнію утворюються контрастні межі розділу нанокристалів і окислені граничні області. Для вивчення електрофізичних властивостей плівок розроблено та досліджено контактну систему до високоомних шарів nс-SiC плівок типу Ni-TiB2-Au, атакож технологічні схеми виготовлення мало інерційних сенсорів температури Опис продукції Розроблено спосіб модифікації оптичних властивостей плівок їх відпалу в кисні. Після відпалу в плівках консолідованого нанокристалічного карбіду кремнію утворюються контрастні кордони розділу нанокристалів і окислені граничні області. Для вивчення електрофізичних властивостей плівок розроблено та досліджено контактну систему довисокоомних шарів nc-SiC плівок типу Ni-TiB2-Au, а також технологічні схеми виготовлення мало інертних сенсорів температури Автори роботи Козловський Анатолій Анатолійович Семенов Олександр Володимирович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити