Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0213U001712, 0111U001466 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка комплексних методів формування і обробки функціональних покриттів пучками заряджених частинок з високою питомою потужністю Назва етапу роботи Керівник роботи Целуйко Олександр Федорович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 24-01-2013 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єктами дослідження є принципово нові методи: формування пучків заряджених часток і випромінювання в діапазоні екстремального ультрафіолету та макетних пристроїв з високою питомою потужністю для створення і обробки функціональних покриттів на мікро і нано рівні. Метою проекту є розробка методів формування і обробки функціональних покриттів на мікро і нано рівні за допомогою електронних та іонних пучків з високим рівнем питомої потужності. Методи дослідження - експериментальні та теоретичні дослідження: "умов формування сфокусованих іонних пучків середніх енергій з високою густиною струму в холівських джерелах з замкнутим дрейфом електронів і створення макету холівського джерела з магніто-балістичним фокусуванням; " умов формування інтенсивних іонних пучків низької енергії в приповерхневих шарах об'ємного заряду в пучково-плазмовому розряді з термокатодом і створення макету системи на його основі; " умов формування подвійного шару об'ємного заряду навколо термоіонної плазми і створення макету системи термоіонного осадження; "умов формування направленого надвипромінювання плазми сильнострумового імпульсного плазмово-пучкового розряду і створення макету джерела для активації поверхні інтенсивним екстремальним ультрафіолетом. Створені в ході виконання НДР холівське джерело з магніто-балістичним фокусуванням іонного пучка, система термоіонного і газофазного осадження покриттів та інтенсивне джерело направленого екстремального ультрафіолету будуть застосовані для подальших наукових досліджень в галузі технологій формування і обробки функціональних покриттів на мікро і нанорівні (мікроелектроніка, оптика, з'вязок, ядерна та термоядерна енергетика). Опис продукції Запропоновано, спроектовано та виготовлено нову конструкцію джерела з двома електромагнітними катушками для забезпечення балістичного та магнітного фокусування пучка іонів водню. Отримано профілі густини струму пучка для іонів аргону та водню, які вказують на покращені характеристики нового джерела іонів водню. Для компенсації негативного впливу власного магнітного поля використано оригінальну додаткову реверсивну магнітну систему, яка надає пучку необхідну форму, а частинкам – необхідну балістику руху. Автори роботи Бізюков І. Бізюков О. Боргун Є. Гірка О. Рябчиков Д. Середа І. Целуйко О. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити