Реєстраційний номер
0213U002356,
0110U001258
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Синтез нанорозмірних плівок нітридів перехідних металів іонно-плазмовими методами
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Фареник Володимир Іванович,
Дата реєстрації
24-01-2013
Організація виконавець
Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України
Опис етапу
Експериментальні й теоретичні дані щодо формування наноструктур в умовах комплексного впливу потоків активованих часточок для подальшого розвитку досліджень у галузі нанофізики та розробки сучасних плазмових процесів у нанотехнологіях та наноелектроніці.
Опис продукції
Синтезовано наноструктури на базі матеріалів електроніки з високими електрофізичними властивостями. Розроблено методи синтезу ультратонких плівок перехідних металів.
Автори роботи
Антонов Олександр Володимирович
Антонов Павло Володимирович
Бабенко Людмила Володимирівна
Бодельний Ілля Анатолійович
Дробишевська Ганна Олександрівна
Заварзін Володимир Васильович
Кривонос Володимир Михайлович
Молотко Роман В'ячеславович
Рафальский Дмитро В'ячеславович
Сергєєва Наталія Василівна
Стервоєдов Андрій Миколайович
Сухих Дмитро Юрійович
Турчин Максим Павлович
Харченко Надія Дмитрівна
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
