Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0213U007249, 0108U004840 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення метрологічного комплексу для діагностики компонентної бази наноелектроніки методами скануючої зондової мікроскопії Назва етапу роботи Створення метрологічного комплексу для діагностики та сертифікації компонентної бази наноелектроніки та суміжних нанотехнологій Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 30-04-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Для діагностки нових матеріалів, приладів наноелектроніки, плазмоніки та наномедицини і біотехнологій на субмікронному та субнанометровому рівнях, був створений новітній метрологічний комплекс нанозондової діагностики локальних фізчних параметрів напівпровідникових наноструктур, наноматеріалів та біосистем на базі багатофункціонального скануючого зондового мікроскопу Опис продукції Розроблено та апробовано комплекс нанозондових методик для діагностики механічних (нанотвердість, пружність, зносостійкість та ін.) та електрофізичних (вольт-амперних, вольт-фарадних та ін.) параметрів матеріалів та структур Автори роботи Литвин О.С. Литвин П.М. Прокопенко І.В. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити