Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U000807, 0111U008998 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів плазмохімічного і газофазного відновлення металовміщуючих з'єднань у середовищах активних і інертних газів. Синтез і розділення фторидів металів і їх сполук. Назва етапу роботи Керівник роботи Широков Борис Михайлович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 18-07-2014 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис етапу Створено установку для проведення досліджень процесів плазмохимического відновлення хлорсіланів в індукційному ВЧ розряді низькотемпературної нерівноважної плазми.Отримано плівки кремнію при частоті ВЧ розряду 880 кгц, порушуваному в тетрахлоріде кремнію (SіCl4), розведеним воднем при співвідношенні 5/1 . Швидкість росту плівки кремнію - 2,41 нм/с. Проведено рентгеноструктурний фазовий аналіз плівки кремнію, визначена величина періоду кристалічних ґрат. Опис продукції Одержано на плазмохімічної установки, плівки кремнію з високими швидкостями росту, завдяки високому ступеню дисоціації компонентів робочої суміші при водневому відновленні тетрахлоріда кремнію в низькотемпературній нерівноважній плазмі для виготовлення напівпровідникових елементів і сонячних батарей Автори роботи Бакай Катерина Сергеевна Глушко Павло Іванович Дериземля Анатолій Миколайович Евсюков А.І. Журавльов Олександр Юрьевич Зуєва Татьяна Миколаевна Капустін Віталій Леонідович Крохмаль Сергей Олександрович Мартиненко Віктор Григорович Осипов Олександр Давидович Патокін Олександр Петрович Пелипець Юрий Олександрович Радченко Володимир Іванович Семенов Микола Олександрович Стригуновський Сергей Олександрович Суща Аліна Анатольевна Хованський Микола Олександрович Широков Борис Михайлович Шиян Олександр Васильович Щербакова Валентина Володимирівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити