Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0214U002892, 0113U002889 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії Назва етапу роботи Керівник роботи Сліпченко Микола Іванович, Дата реєстрації 31-01-2014 Організація виконавець Харківський національний університет радіоелектроніки Опис етапу Розроблено методи теоретичного опису і чисельного моделювання, які найбільш адекватно відображають характер процесів модифікаційної дії локалізованого мікрохвильового випромінювання, що дозволяє оптимізувати режими технологічних прийомів і конструкції мікрозондових структур. Експериментально визначені напрямки створення технологічного обладнання та розроблені методики опанування новими технологічними прийомами формування і контролю мікро- і наноструктур. Опис продукції Розроблено основи методів чисельного аналізу і моделювання фізичних процесів і характеру взаємодії локалізованих полів з мікро- і нанорозмірними об'єктами і структурами. Автори роботи Бендеберя Г.М. Бондаренко І.М. Гордієнко Ю.О. Гуд Ю.І. Полєтаєв Д.О. Сергєєв П.Ю. Таран Є.П. Троїцький С.І. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Керівник: Сліпченко Микола Іванович. Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії. (Етап: ). Харківський національний університет радіоелектроніки. № 0214U002892
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-27