Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U007667, 0113U003188 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження засобів вимірювання геометричних розмірів оптичними методами в нанометровому діапазоні. Назва етапу роботи Керівник роботи Стадник Богдан Іванович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 25-12-2014 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Синтезовано математичні моделі оптичних сенсорів (конфокального, фокусного та інтерферометричного). Досліджено вплив параметрів довкілля (температури, тиску, відносної вологості та концентрації вуглекислого газу) та параметрів лазера (довжина хвилі) на точність вимірювання геометричних розмірів в нанометровому діапазоні. Розроблено алгоритми корекції, які дозволяють підвищити точність результатів вимірювання на етапі опрацювання даних. Опис продукції Розроблено математичні моделі оптичних сенсорів, які дозволяють врахувати вплив параметрів лазера і параметрів довкілля на результати вимірювання. Проведено дослідження впливу довжини хвилі лазера, температури, тиску, концентрації вуглекислого газу та вологості повітря на непевність вимірювання геометричних розмірів в нанометровому діапазоні. Синтезовано вирази для алгоритмічної корекції результатів вимірювання геометричних розмірів оптичними сенсорами, що дозволяють підвищити точність вимірювання. Автори роботи Волицький Р.О. Гамула П.Р. Луцик Я.Т. Микитин І.П. Пучинський Б.В. Сасюк Т.М. Семенистий А.В. Сенів Г.Б. Скоропад П.І. Стадник Б. І. Тищенко О.С. Хома Ю.В. Шендера О.Т. Яцишин С.П. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити