Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0215U003062, 0114U000677 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення технологій вирощування наноструктурованих карбонованих матеріалів кремнію та карбіду кремнію для опто- і мікроелектронних приладів Назва етапу роботи Керівник роботи Лисенко Володимир Сергійович, Дата реєстрації 19-01-2015 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Модернізована система термічного відпалу, що дозволяє контрольовано підвищувати швидкість нагріву та охолодження зразків шляхом переміщення зони розігріву. Визначений механізм трансформацій механічних напружень при термічній обробці плівок SiC. На установці магнетронного осадження тонких плівок Катод-1М встановлено та відпрацьовано двохканальну систему напуску газів, що забезпечує контроль та регуляцію протоку (в перерахунку на чистий азот): I канал - від 10 до 500 см3/хв. II канал - від 1 до 50 см3/хв. Опис продукції Створення технологій вирощування наноструктурованих матеріалів на основі кремнію та вуглецю для оптоелектричних і мікроелектронних приладів. Автори роботи Васін Андрій Володимирович Назаров Олексій Миколайович Русавський Андрій Вадимович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити