Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0216U000014, 0115U001538 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології виготовлення інфрачервоного фотоприймального пристрою спеціального призначення Назва етапу роботи Керівник роботи Кладько Василь Петрович, Дата реєстрації 14-01-2016 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Проведена атестація вихідних матеріалів за структурними, електричними та фотоелектричними параметрами та характериcтиками. Оптимізовано склад поліруючих травильних композицій для зняття субмікронних шарів в InSb підкладках, виготовлено підкладки InSb з планарною дзеркально-гладкою стехіометричною поверхнею. Розроблена методика пасивації поверхні підкладок формуванням власного оксиду та низькотемпературне осадження захисного шару SiOx. Розроблена технологія отримання бездефектної планарної та стехіомет-ричної поверхні підкладок InSb. Розроблена технологія виготовлення пасивуючих та захисних шарів для InSb підкладок. Проведено моделювання транспортних і фотоелектричних явищ в InSb p-n-переходах для оптимізації структури чутливої області. Опис продукції Автори роботи А.А.Сукач Б.М.Романюк В.В.Тетьоркін В.Г. Попов В.М.Телега В.П. Мельник Д.В.Корбутяк Н.В. Сафрюк О.Й. Гудименко О.С.Оберемок С.В.Сапон Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити