Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0216U009008, 0116U006013 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Впорядковані наноструктури на поверхні кремнію для високоефективних фотоелектричних перетворювачів

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Євтух Анатолій Антонович,

Дата реєстрації

05-09-2016

Організація виконавець

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Опис етапу

Звіт подається в одному томі і складає 48 сторінок, у тому числі рисунків 14, таблиць 0, використаних джерел 26. Ключові слова: мікро- та наноструктурована поверхня, кремнієві нанодроти, метал-каталітичне хімічне травлення, хімічне травлення. Мета проекту: Розробити технології формування нанодротин кремнію та комбінованих структур кремнієві піраміди- кремнієві нанодроти на поверхні кремнію методами хімічного травлення (анізотропного та метал каталітичного хімічного травлення). В результаті виконання даного етапу роботи розроблені технології формування нанодротин кремнію та комбінованих структур кремнієві піраміди- кремнієві нанодроти на поверхні кремнію методами хімічного травлення (анізотропного та метал каталітичного хімічного травлення). Показано, що метод хімічного нелектролітичного травлення (MacEtch) можна розглядати як ефективний та відносно недорогий спосіб текстурування поверхні кремнієвої підкладки. Такий метод дозволяє отримувати структури з різною морфологією та розподілом на поверхні підкладки. Зокрема, використовуючи метод метал каталітичного хімічного травлення MacEtch, отримано масиви ниткоподібних нанокристалів Si з діаметрами порядку 250 нм і довжиною 5мкм та 10 мкм. При цьому показано можливість отримання регулярних нановіскерів за допомогою наносферної літографії з використанням колоїдних наносфер кремнезему, які слугують маскою в процесі осадження металу-каталізатора термічним випаровуванням. Підбираючи оптимальну концентрацію травника, можна змінювати діаметр наносфер і у такий спосіб отримувати нановіскери потрібного діаметра.

Опис продукції

Технологічні процеси формування масивів вертикальних нанодротин та комбінованих структур кремнієві піраміди - кремнієві нанодроти на поверхні кремнію. Результати досліджень впливу технологічних процесів на параметри впорядкованих структур.

Автори роботи

Євтух Анатолій Антонович
Братусь Олег Леонідович
Парфенюк Павло Васильович
Чудовська Галина Вікторівна

Додано в НРАТ

2020-04-02