Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0217U001660, 0116U006302 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою Назва етапу роботи Керівник роботи Вірко Валерій Федорович, Дата реєстрації 15-03-2017 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис етапу Завершено дослідження розподілів концентрації плазми у модифікованому геліконному розряді з лінійною індукційною антеною збільшеної довжини (40 см). Вимірювались розподіли іонного струму на колектор, який переміщуварся вздовж антени в щілині у провідній площині, що імітує оброблювану поверхню. Дослідження проведено при збудженні розряду в резонансних умовах, коли відстань між антеною і оброблюваною поверхнею перевищує довжину стоячої геліконної хвилі в напрямку магнітного поля. Досліджено вплив конфігурації магнітного поля на характеристики розряду. Встановлено, що режим розряду з однорідним профілем концентрації вздовж антени може бути реалізований як в однорідному магнітному полі, утворюваному електромагнітними котушками, так і при використанні постійних магнітів з додатковою котушкою в області антени. Окрім аргону, вивчались особливості лінійного розряду в молекулярнмх газах (H2, N2, CH4). Виявлено, що однорідний профіль концентрації можна отримати у суміші метану з 10% аргону при певних значеннях ВЧ потужності та напруженості магнітного поля. Опис продукції Розроблений метод використовує спеціально розроблену конструкцію лінійної індукційної антени та спеціальну конфігурацію магнітного поля для створення однорідної за густиною плазми вздовж антени Автори роботи Борисенко Анатолій Григорович Вірко Юрій Валерійович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити