Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0220U102349, 0117U000928 , Науково-дослідна робота Назва роботи Універсальний вакуумний пост для нанесення багатошарових покриттів. Назва етапу роботи Керівник роботи Коломієць Володимир Миколайович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 12-03-2020 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу Був проведений комплекс робіт з розробки сучасного вакуумного універсального поста для контрольованого напилення як одношарових, так і багатошарових покриттів у середовищі одного газу або суміші газів на основі методу магнетронного розпилення імпульсами високої потужності з використанням імпульсного блоку живлення 4A PLASMA (не має аналогів в Україні) з можливістю повного дистанційного керування за допомогою персонального комп’ютера. Вакуумна установка базується на використанні сучасних турбомолекулярних насосів і датчиків вакууму та новітніх систем керування та контролю за процесом отримання покриттів. Проведено випробування вакуумного універсального поста та отримано при різних технологічних режимах багатошарові плівки на основі танталу та ніобію.   Опис продукції Вакуумний універсальний пост призначений для отримання тонких плівок із різних матеріалів методом магнетронного розпилення в середовищі робочого інертного газу аргону чи суміші газів (аргон, азот, кисень), а також для підготовки об’єктів для проведення фундаментальних досліджень. Основні параметри та характеристики Робочий тиск залишкових газів у вакуумному об’ємі 1•10-4 Па. Маса приладу: не більше 300 кг. Розміри: електрична шафа ДхШхВ 620х610х2000 мм. Аналітична шафа ДхШхВ 1250х670х1300 мм. Максимальна потужність до 5 кВт. Максимальна вихідна напруга високовольтного блоку живлення магнетрону 1200 В, сила струму 500 А. Максимальна вихідна напруга високовольтного блоку живлення приставки для іонного травлення 10 кВ, сила струму 2 А. В повний комплект приладу входить: вакуумна камера зі стійкою; магнетрон діаметром мішені 80 мм – 2 шт.; приставка для іонного травлення об’єктів – 1 шт.; блок живлення приставки для іонного травлення БП-138.; підкладкотримач з можливістю здійснення планетарного обертання об’єктів; турбомолекулярні насоси: Leybold 350, KYKY FF-100/110E; форвакуумні насоси: Alcatel 2012A, 2НВР-5ДМ; індикатор вакууму SEO-VAC; кварцовий вимірювач товщини з заслінкою та водяним охолодженням; блок живлення магнетрону 4A PLASMA; трьохканальна система напуску газів. Автори роботи Бугайов Сергій Іванович Канівець Володимир Миколайович Кравченко Сергій Миколайович Павленко Юрій Анатолійович Самойлов Павло Євгенович Шкурат Олександр Іванович Додано в НРАТ 2020-04-01 Закрити