Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0222U003203, 0121U109316 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Дослідження високочастотного створення та нагріву плазми, комбінованих розрядів і розрядів постійного струму для обробки стінок вакуумних камер та вдосконалених методів діагностики плазми і стану вакуумних поверхонь.

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Моісеєнко Володимир Євгенійович, Кандидат фізико-математичних наук

Дата реєстрації

21-02-2022

Організація виконавець

Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" Національної академії наук України

Опис етапу

Відпрацьовано можливість роботи двонапіввиткової антени в режимі чистки внутрішніх поверхонь вакуумної камери в малому магнітному полі без попередньої передіонізації, в водневому плазмовому розряді. Двонапіввиткова антена може створювати плазму та підтримувати густину плазми до 7×1011 см-3 протягом усього імпульсу. Порівняння результатів вимірювань до обробки стінки та після в малому магнітному полі показали підвищення параметрів плазми (густини та температури) в робочих (в сильних магнітних полях) ВЧ розрядах після обробки стінки та зменшення парціального тиску залишкових газів (мас-спектрометричні вимірювання). Вдосконалено методику вимірювання термодесорбції робочих газів з нержавіючої сталі. Для оцінки відсоткового вмісту робочого газу в загальному обсязі газів, десорбованих при нагріванні зондів, запропоновано, поряд з одночасним вимірюванням парціального тиску робочого газу та загального газовиділення на одному зонді, проводити почергове вимірювання парціальних тисків основних залишкових газів (Н2О, СО, СО2) на трьох інших зондах, підданих аналогічній плазмовій обробці, як і перший зонд. Відсотковий вміст робочого газу в суміші десорбованих газів визначався як відношення виміряного парціального тиску робочого газу до суми парціального тиску основних залишкових газів. Досліджено залежності потоків атомів перезарядки (СХ) у трьох типах розрядів У-2М через аналізатор нейтральних частинок (НПА). Потік CX відповідає перпендикулярній енергії іонів плазми. Нейтральні потоки СХ були виміряні в плазмових розрядах, які підтримуються двонапіввитковою антеною типу В-7екс. Виконано узагальнення як авторських, так і літературних даних присвячених застосуванню рефракції мікрохвиль у неоднорідній плазмі для її діагностики. Наведено основні методи мікрохвильової діагностики неоднорідної плазми, що використовують рефракцію мікрохвиль. Показано шляхи розширення області застосування рефракції мікрохвиль для діагностики плазми.

Опис продукції

Автори роботи

БАРОН Дем'ян Iллiч
ГЛАЗУНОВ Геннадiй Петрович
ДРЕВАЛЬ Микола Борисович
Ковтун Юрій Вікторович
КРАСЮК Олександр Юрiйович
КУЛИК Юлiя Сергiївна
ЛИСТОПАД Вiктор Михайлович
ЛОЗІН Олексiй Васильович
МАЗНІЧЕНКО Сергiй Михайлович

Додано в НРАТ

2022-03-09