Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0222U004805, 0117U002458 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка зносостійких покриттів на основі системи Al(Mg)-B-Si-C-N для довгострокового використання Назва етапу роботи Керівник роботи Іващенко Володимир Іванович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 03-11-2022 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича Національної академії наук України Опис етапу Об’єкт дослідження – покриття, плівки та об’ємні матеріали на основі системи Al(Mg)-B-Si-C-N, їх технологія отримання, структура і властивості. Мета дослідження: 1) На основі експериментальних і теоретичних досліджень, віднайти оптимальні режими осадження магнетронних покриттів і плазмохімічних плівок на основі системи Al(Mg)-B-Si-C-N для використання їх в якості захисних і зносостійких шарів та в напівпровідникових приладах для довготермінової експлуатації; 2) Встановити механізми формування структурних, оптоелектронних та механічних властивостей осаджених покриттів і плівок. Методи дослідження: технологічне обладнання, вимірювальна апаратура, першопринципні методик. Плазмохімічні аморфні SiCN:H плівки демонстрували яскраву фотоемісію в інтервалах довжин хвиль 450-600 нм, енергетичну щілину в межах 2-4 еВ, провідність біля 10-7 – 10-10 ом-1см-1, твердість понад 24 ГПа, високу термічну стійкість (вище 1100 0С), низькі шорсткість (0.33 нм) і коефіцієнт тертя (<0.1). Аморфні покриття SiCN, BCN, SiBCN і AlN/BCN були отримані шляхом магнетронного розпилення мішеней із SiC, B4C, Si+B4C та Al i B4C відповідно, в Ar-N2 атмосфері; аморфні і наноструктуровані покриття AlMgBC, AlB2, AlBC, AlBSiC –шляхом розпилення мішеней із AlMgB14 і C; AlB2; AlB2 і C; AlB2 і SiC, відповідно, в Ar атмосфері. Покриття є термостійкі (до 1200 0С), демонстрували напівпровідникові властивості, високу твердість (17-28 ГПа), низьку шорсткість (до 0.5-2 нм), низький коефіцієнт тертя (0.1-0.2), добру адгезію. Першопринципні розрахунки аморфних SiCN, AlMgBC, AlN, AlB2, AlBC, AlBN дозволили вивчити структуру цих фаз та її вплив на властивості (електроону і фононну структури, пружні модулі, твердість, тріщиностійкість, температуру Дебая, криві напруження-деформація, тощо). Розроблені плівки і покриття рекомендовано для використання в якості захисних та зносостійких шарів, наприклад в МЕМС, НЕМС та в напівпровідникових приладах (сонячних елементах, фотодетекторах, фотодіодах). Опис продукції Автори роботи Іващенко Володимир Іванович Іващенко Людмила Андріївна Биков Олександр Іванович Васильківська Марина Анатолівна Гранько Василь Микитович Ковальченко Андрій Михайлович Козак Андрій Олександрович Корічєв Сергій Феодосієвич Марчук Олександр Кирилович Оліфан Олена Ігорівна Онопрієнко Олексій Олексійович Осадча Ала Владиславівна Порада Олександр Карпович Синельниченко Олексій Корнійович Ситіков Олександр Олексійович Скринський Петро Лукич Шевченко Володимир Іванович Шевченко Роман Володимирович Додано в НРАТ 2022-11-03 Закрити