Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0299U000718, 0196U022602 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослiдження процесiв утворення плiвок углецю, легованих азотом, в умовах iонно-променевого осадження Назва етапу роботи Керівник роботи Семенов О.В., Дата реєстрації 14-07-1999 Організація виконавець НДВ "Оптичнi та конструкцiйнi кристали" НТК "Iнститут монокристалiв" Опис етапу Вивченi i визначенi умови одержання легованих алмазоподiбних плiвок ta-CNx з високим вмiстом азоту (до 60%) в умовах iонно-променевого осадження. Визначенi умови осадження на пiдкладки з оптичних матерiалiв при низьких температурах (не >60 С) високоадгезiйних твердих ta-CN плiвок. Встановлено, що у високолегованих алмазоподiбних плiвках азоту справляють слабкий вплив на структуру i близький порядок Sp3-галузей i займають переважно мiсця у граничних iз Sp3-фазою галузi. При цьому у процесi осадження азот впливаї на формування певноє модифiкацiє Sp3-фази. Основнi показники: швидкiсть росту плiвки ~5 мкм/час; максимальний вмiст азоту у вуглецевiй плiвцi C/N=0,7; товщина високоадгезiйноє твердоє плiвки ta-CN 0,3мкм. Цi дослiдження можуть бути використанi у мiкроелектронному приладобудування для розробки захисту оптичних i електронних елементiв. Галузь застосування - приладобудування. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити