Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0300U002056, 0100U000165 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка дослідно-промислової установки та технології ультрафіолетової літографії GaAs структур субмікронних розмірів Назва етапу роботи Розробка структурної схеми установки.Реконструкція технологічного боксу.Визначення потрібних характеристик основних вузлів установки.Моделювання оптичного блоку установки Керівник роботи Оболонський Валерій Олександрович, Дата реєстрації 10-10-2000 Організація виконавець Державний науково-дослідний центр "Фонон" Опис етапу В результаті проведеної роботи розроблена структурна схема.Проведено реконструкцію технологічного боксу.Розроблено макет оптичного блоку установки.Визначені характеристики основних вузлів установки,які забезпечують досягнення вимог технічного завдання.Підготовлений річний звіт. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити