Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0304U001686, 0103U003082 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів низькотемпературного утворення , модифікації та властивостей нанокристалічних плівок на основі карбіду кремнію Назва етапу роботи Вивчити процеси іоно-плазмового низькотемпературного осадження плівок SiC з різними структурними станами та встановити зв'язок між умовами осадження SiC плівок та їх структурним станом і властивостями Керівник роботи Семенов О.В., Дата реєстрації 16-03-2004 Організація виконавець НДВ "Оптичнi та конструкцiйнi кристали" НТК "Iнститут монокристалiв" Опис етапу Визначени умови одержання плівок SiC з різними структурними станами у діапазоні від аморфного до кристалічного. Визначени плівки нанокристалічного SiC з розмірами кристалів 15-100 нм. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити