Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0304U004861, 0104U009357 , Науково-дослідна робота Назва роботи Відпрацювання умов нанесення діелектричних покриттів Al2О3 магнетронним методом та елементів конструкції іонно-плазмової системи для іонізації парів джерела електронно-променевого випаровування Назва етапу роботи Відпрацювання умов нанесення діелектричних покриттів Al2О3 магнетронним методом та елементів конструкції іонно-плазмової системи для іонізації парів джерела електронно-променевого випаровування Керівник роботи Батурін Володимир Андрійович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 09-11-2004 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу У процесі роботи проводилися дослідження характеристик індукційного розряду від геометрії газорозрядної камери, від тиску робочої речовини, розроблено рекомендації по конструюванню іонно-плазмової системи для іонізації парів джерела електронно променевого випарювання Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Відпрацювання умов нанесення діелектричних покриттів Al2О3 магнетронним методом та елементів конструкції іонно-плазмової системи для іонізації парів джерела електронно-променевого випаровування
Керівник: Батурін Володимир Андрійович. Відпрацювання умов нанесення діелектричних покриттів Al2О3 магнетронним методом та елементів конструкції іонно-плазмової системи для іонізації парів джерела електронно-променевого випаровування. (Етап: Відпрацювання умов нанесення діелектричних покриттів Al2О3 магнетронним методом та елементів конструкції іонно-плазмової системи для іонізації парів джерела електронно-променевого випаровування). Інститут прикладної фізики НАН України. № 0304U004861
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-27


Роздрукувати цю сторінку