Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0305U001855, 0104U009359 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та виготовлення високочастотного генератора для установки магнетронного осадження плівок Назва етапу роботи Розробка та виготовлення високочастотного генератора для установки магнетронного осадження плівок Керівник роботи Батурін Володимир Андрійович, Кандидат фізико-математичних наук Дата реєстрації 11-05-2005 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу Об'єктом дослідження є фізичні прилади для здійснення процесу катодного розпилення матеріалів у низькотемпературній плазмі газового високочастотного розряду. Мета роботи - розробка ВЧ генератора для збудження розряду у магнетронному випарювачі МП-3. В процесі роботи проводились теоретичні та експериментальні дослідження високочастотних характеристик магнетронного випарювача МП-3, способів узгодженння ВЧ генератора з навантаженням, оптимізація модулів ВЧ генератора. В результаті роботи створено діючий зразок ВЧ генератора з ефективною системою стабілізації рівня потужності при навантаженні Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розробка та виготовлення високочастотного генератора для установки магнетронного осадження плівок
Керівник: Батурін Володимир Андрійович. Розробка та виготовлення високочастотного генератора для установки магнетронного осадження плівок. (Етап: Розробка та виготовлення високочастотного генератора для установки магнетронного осадження плівок). Інститут прикладної фізики НАН України. № 0305U001855
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-27


Роздрукувати цю сторінку