Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0307U001773, 0106U001574 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів формування потоків активованих частинок у кластерних плазмових системах для синтезу та обробки наноструктур Назва етапу роботи Дослідження сумісних джерел активованих частинок у комбінованих та імпульсних Е-Н полях та еволюції рельєфу поверхні, що обробляється Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 03-05-2007 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження – ВЧ розряд низького тиску у комбінованих полях та взаємодія потоків активованих частинок із поверхнею твердого тіла. Мета роботи — вдосконалення методів діагностики плазми, встановлення механізмів росту новоутворень на поверхні твердого тіла під впливом потоків активованих частинок плазми. Метод дослідження – аналіз зондових характеристик плазми, теоретичний опис формування новоутворень. Запропонована експериментальна методика мінімізації ємнісного зв'язку індуктора із плазмою, яка дозволяє існувати індукційному розряду в Н-фазі за умов значно меншої ВЧ потужності. У роботі розвінена модель опису, що заснована на аналізі експериментальних даних, зародження і початкової стадії еволюції мікронних структур (новоутворень) на поверхні катода під дією потоку плазми. Отримано рівняння еволюції профілю поверхні, що враховує, поряд з розпиленням, процес конденсації на поверхні вторинних заряджених часток власного матеріалу мішені. Отримане аналітичне рішення даного рівняння для початкових умов у вигляді конуса. Обговорюється можливість подальшого використання результатів роботи у галузі діагностики плазми та поверхні твердого тіла. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити