Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0308U001767, 0108U000895 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка оптимізованої мікросистемної технології, виготовлення інтегральних структур для прецизійних чутливих елементів електромеханічних перетворювачів Назва етапу роботи Розробка оптимізованої мікросистемної технології, виготовлення інтегральних структур для прецизійних чутливих елементів електромеханічних перетворювачів. Керівник роботи Шаран Микола Миколаєвич, Дата реєстрації 03-03-2008 Організація виконавець Науково-дослідний центр радіоелектроніки "Полюс" Опис етапу Проведено корегування топології експериментальних структур чутливих елементів сенсорів тиску. Розроблена оптимізована технологія виготовлення інтегральних структур для чутливих елементів електромеханічних перетворювачів тиску. Проведений технологічний маршрут та отримані чутливі елементи. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розробка оптимізованої мікросистемної технології, виготовлення інтегральних структур для прецизійних чутливих елементів електромеханічних перетворювачів
Керівник: Шаран Микола Миколаєвич. Розробка оптимізованої мікросистемної технології, виготовлення інтегральних структур для прецизійних чутливих елементів електромеханічних перетворювачів. (Етап: Розробка оптимізованої мікросистемної технології, виготовлення інтегральних структур для прецизійних чутливих елементів електромеханічних перетворювачів.). Науково-дослідний центр радіоелектроніки "Полюс". № 0308U001767
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-27


Роздрукувати цю сторінку