Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0311U012061, 0111U008637 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення ескізної конструкторської документації та технологічної схеми виготовлення високостабільного сенсора температури на основі наноструктурованих шарів високоомного карбіду кремнію. Назва етапу роботи Розроблення ескізної конструкторської документації та технологічної схеми виготовлення високостабільного сенсора температури на основі наноструктурованих шарів високоомного карбіду кремнію. Керівник роботи Личман Кирило Олексійович, Дата реєстрації 21-12-2011 Організація виконавець Державне підприємство Науково-дослідний інститут "Оріон" Опис етапу Розроблена ескізна конструкторська документація на малогабаритний високостабільний сенсор температури на основі наноструктурованих шарів високоомного карбіду кремнію товщиною 2-3 мкм. Розроблена технологічна схема виготовлення малогабаритного високостабільного чіпа сенсора температури на основі наноструктурованих шарів високоомного карбіду кремнію на сапфірі. Проведені попередні дослідження електричних параметрів розроблених сенсорів в інтервалі температур -196оС. +400 оС. Опір сенсорів в досліджуваному інтервалі температур змінюється в 18-20 разів. Опис продукції Ескізна конструкторська документація на малогабаритний високостабільний сенсор температури на основі наноструктурованих шарів високоомного карбіду кремнію товщиною 2-3 мкм. Технологічна схема виготовлення малогабаритного високостабільного чіпа сенсора температури на основі наноструктурованих шарів високоомного карбіду кремнію на сапфірі. Автори роботи В.І. Миколаєнко В.А. Кривуца В.Г. Ноєнко К.О. Личман М.С. Блтовець Н.Я. Урицька О.С. Слєпова Т.І. Голинна Т.В. Коростинська Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити