Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0400U002326, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 15-09-2000 Статус Запланована Назва роботи Розробка травильних композицій та технологічних процесів формування полірованих поверхонь підкладок арсеніду та антимоніду індію для приладів ІЧ-техніки. Здобувач Даниленко Світлана Григорівна, Керівник Томашик В.М. Опонент Горбик П.П. Опонент Карачевцева Л.А. Опис Дисертація присвячена дослідженню взаємодії InAs та InSb з розчинами систем HNO3-HCl(HBr)-комплексоутворювач і розробці на основі отриманих експериментальних результатів травильних композицій та режимів обробки поверхонь вказаних напівпровідників. З використанням математичного планування експерименту побудовано поверхні однакових швидкостей травлення (діаграми Гіббса) арсеніду та антимоніду індію в досліджуваних системах розчинів при використанні води, оцтової, винної, щавелевої, молочної та цитринової кислот як комплексоутворювача. Досліджено кінетичні закономірності процесу розчинення та встановлено межі існування областей поліруючих і неполіруючих розчинів в кожній з досліджуваних систем. Дата реєстрації 2000-09-15 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити