Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0410U000337, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 15-01-2010 Статус Запланована Назва роботи Модифікація структури та електрофізичних параметрів тонких металевих плівок і гетероструктур на їх основі під дією атомарного водню Здобувач Жавжаров Євген Леонідович, Керівник Матюшин Володимир Михайлович Опонент Стасюк Зиновій Васильович Опонент Захаренко Микола Іванович Опис У дисертаційній роботі проведені комплексні експериментальні дослідження електрофізичних властивостей тонких металевих плівок Ni, Cu, Ag (10-200 нм) і структур на їх основі, які дали можливість встановити і доповнити відомі закономірності дії атомарного Гідрогену (Н) на структуру і електропровідність тонких металевих плівок. Весь комплекс процесів що протікають під впливом Н в тонких металевих плівках розділено на механізми, що оказують домінуючий вплив на електропровідність тонких плівок на одному з трьох етапів взаємодії. Виявлена і пояснена наявністю конкуруючих процесів нелінійна залежність опору тонких плівок від часу їх обробки Н. Встановлена залежність процесів ініційованих дією атомарного Гідрогену від умов взаємодії: властивостей вихідної плівки, матеріалу плівки, концентрації атомарного Гідрогену, часу обробки, тиску в камері. Вперше показана можливість керованої зміни електропровідності, тензометричного коефіцієнту, адгезії плівок. Виявлено, що дія Н на кремнієві підкладки приводить до зміни потенціалу поверхні, і залежить від стану поверхні кремнію: товщина оксиду і кристалографічної орієнтації. Дата реєстрації 2010-01-15 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити