Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0421U102289, Кандидатська дисертація На здобуття Кандидат фізико-математичних наук Дата захисту 26-04-2021 Статус Запланована Назва роботи Синтез вуглецевих наноматеріалів у магнетронній плазмі Здобувач Богданов Роман Вікторович, Керівник Мартиш Євген Власович Опонент Яковенко Юрій Володимирович Опонент Добровольський Андрій Миколайович Рецензент Черняк Віктор Ярославович Рецензент Веклич Анатолій Миколайович Рецензент Яковенко Юрій Володимирович Опис Робота присвячена визначенню умов синтезу вуглецевих наноматеріалів методом магнетронного розпорошення з використанням магнетронного розпорошувального пристрою з двома зонами ерозії (ДЗМРП). Комп’ютерне моделювання методом Монте-Карло з частинками дозволило прогнозувати оптимальні режими для отримання вуглецевих плівок з sp2- зв’язками між атомами вуглецю на даному ДЗМРП. За цих режимів досягається енергія розпорошених із мішені атомів вуглецю біля 7,04 еВ, а їх потік складав біля 6×1015 см-2с-1. За температур підкладки (423 .. 618) K методом комбінаційного розсіювання світла виявлено характерний розмір sp2- зв’язаних нанокристалітів у плівках (5..6) нм. З моделювання виявлено нелінійну зміну потоку розпорошеної речовини з даного ДЗМРП навіть за одного і того самого розрядного струму. За мінімуму потоку 4,95×1015 см-2с-1 формування плівок з великими нанокристалітами ускладнено. Показано, що при відстані мішень –підкладка у 4 см незаземлена підкладка у плазмі розряду даного ДЗМРП набирає потенціал самозміщення не більше -7В, що відповідає електронній температурі до 1,4 еВ. Дата реєстрації 2021-05-27 Додано в НРАТ 2021-05-27 Закрити