Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0495U002440, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 29-10-1994 Статус Запланована Назва роботи Моделирование задач управления многостадийными динамическими технологическими процессами Здобувач Селезнева Руслана Витальевна, Керівник Лысогор В.Н. Опонент Мельник В.С. Опонент Самотый В.В. Опис Объект исследования: Процесс полирующего травления кремния в парогазовой смеси хлористого волорода. Цель исследования: Разработка методического, математического, алгоритмического и программного обеспечения для моделирования. Методы исследования и аппаратура: Методы вычислительной математики и теории автоматического управления, ПЭВМ. Теоретические результаты и новизна: Разработка новых методик моделирования и математических моделей. Практические результаты и новизна: Разработка комплекса программ и инженерных методик. Предмет и степень внедрения: Инженерные методики. Эффективность внедрения: 22,1 тыс.руб. на 01.01.91. Сфера (область) использования: Электронная промышленность. Дата реєстрації 1995-05-29 Додано в НРАТ 2021-03-17 Закрити
Дисертація кандидатська
Моделирование задач управления многостадийными динамическими технологическими процессами
Селезнева Руслана Витальевна. Моделирование задач управления многостадийными динамическими технологическими процессами : к.т.н. : спец.. 05.13.16 - : дата захисту 1994-10-29; Статус: Захищена; Винницкий государственный технический университет. – , 0495U002440.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-26


Роздрукувати цю сторінку