Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0497U000274, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 17-01-1997 Статус Запланована Назва роботи Исследование физики межфазных взаимодействий на границе раздела тугоплавкий металл - арсенид галлия Здобувач Статов Виктор Анатольевич, Керівник Конакова Р.В. Керівник Миленин В.В. Опонент Чайка Г.Е. Опонент Ширшов Ю.М. Опис Объект исследования: Контакты тугоплавкий металл (Сr, W, Мо) - GaAs. Цель исследования: Изучение влияния на параметры контактов термо- и лучевых обработок - y-квантов и сверхвысокочастотного электромагнитного поля. Методы исследования и аппаратура: Измерение электрофизических параметров; Оже-электронная спектроскопия, рентгенодифракционные методы. Теоретические результаты и новизна: Исследовано и теоретически обосновано явление восходящей радиационно-стимулированной диффузии в вышеуказанных контактах. Практические результаты и новизна: Установлены режимы гамма-обработки, которые увеличивают выход годных приборов. Предмет и степень внедрения: Результаты могут быть использованы в технологических рекомендациях. Сфера (область) использования: Предприятия микроэлектронной промышленности. Дата реєстрації 1997-01-17 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити