Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0497U001435, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 20-06-1997 Статус Запланована Назва роботи Исследование оптических свойств тонкопленочных структур на основе элементов IV группы эллипсометрическими методами Здобувач Митус Владимир Анатольевич, Керівник Клюй Н.И. Керівник Литовченко В.Г. Опонент Фекешгази И.В. Опонент Стащук В.С. Опис Объект исследования: Углеродные пленки и пленки SiGe. Цель исследования: Экспериментальное исследование эллипсометрическими методами оптических свойств тонкопленочных структур на основе элементов IV группы и изучение механизмов модификации их параметров при изменении условий нанесения и в зависимости от режимов термических и ионно-имплантционных обработок. Методы исследования и аппаратура: эллипсометрические методы. Теоретические результаты и новизна: Исследованы и теоретически обоснованы радиационно-стимулированные процессы в углеродных пленках и пленках SiGe. Практические результаты и новизна: Исследовано влияние условий осаждения и режимов дальнейших обработок на оптические и структурные свойства углеродных пленок и процессы релаксации внутренних механических напряжений в пленках SiGe. Предмет и степень внедрения: На стадии публикаций. Эффективность внедрения:. Сфера (область) использования: Предприятия электронной промышленности. Дата реєстрації 1997-06-20 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити