Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0497U001545, Кандидатська дисертація На здобуття Дата захисту 20-06-1997 Статус Запланована Назва роботи Исследование процессов ионно-лучевого синтеза скрытых диэлектрических и полупроводниковых слоев в кремнии Здобувач Мельник Виктор Павлович, Керівник Романюк Б.Н. Опонент Бабич В.М. Опонент Чуйков Б.А. Опис Объект исследования: Скрытые диэлектрические и полупроводниковые слои в кремнии. Цель исследования: Исследование процессов, которые происходят при ионно-лучевом синтезе скрытых диэлектрических и полупроводниковых слоев в кремнии для определения физических механизмов их стимулированного формирования. Методы исследования и аппаратура: Ионная имплантация, электронная микроскопия, Оже-электронная и масс-спектроскопия, ИК-спектроскопия. Теоретические результаты и новизна: Проведено теоретическое моделирование процессов стимулированного формирования тонких скрытых диэлектрических слоев в кремнии. Практические результаты и новизна: Разработан новый медот определения компонентного состава пленок нитрита титана, создана технология управляемого синтеза све. Предмет и степень внедрения: Могут быть использованы при создании радиационностойких ИС. Сфера (область) использования: Предприятия электронной промышленности. Дата реєстрації 1997-06-20 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити