Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0498U002167, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 30-10-1998 Статус Запланована Назва роботи Рентгенодифракционные исследования процессов дефектообразования в приповерхностных слоях монокристаллов при действии внешних сил Здобувач Евдокименко Андрей Валериевич, Керівник Фодчук И.М. Опонент Молодкин В.Б. Опонент Раренко И.М. Опонент Ковалюк З.Д. Опис Объект исследования: Кристаллы Si,CdTe, структуры CdHgTe/CdTe. Цель исследования: Экспериментальное и теоретическое исследование структурных изменений в приповерхностных слоях кристаллов после ионного травления и имплантации. Методы исследования и аппаратура: Одно- и двухкристальная рентгеновская дифрактометрия и топография, метод интегральной интенсивности и числовые методы. Теоретические результаты и новизна: В кинематическом приближении теории рассеяния разработана методика и соответствующие алгоритмы расчета распределения деформаций в приповерхностных слоях кристаллов. Практические результаты и новизна: Проведены комплексные рентгенодифракционные исследования распределения деформаций в приповерхностных слоях кристаллов. Разработаны устройства для топографии и дифрактометрии кристаллов в области углов полного внешнего отражения. Предмет и степень внедрения: Рентгеновские методы структурной диагностики совершенства реальных кристаллов. Эффективность внедрения: Возможность выборочного с шагом ~0.01 мкм контроля структурных изменений приповерхностных слоев реальных кристаллов. Сфера (область) использования: Полупроводниковое материаловедение, физика твердого тела. Дата реєстрації 1998-10-30 Додано в НРАТ 2020-05-17 Закрити