Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0593U000370, Докторська дисертація На здобуття д.т.н. Дата захисту 20-10-1993 Статус Запланована Назва роботи Формирование фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов переходных металлов на кремнии Здобувач Макогон Юрий Николаевич, Опонент Палатник Л.С. Опонент Гречанюк Н.И. Опонент Васильев М.А. Опис Объект исследования: Тонкие пленки силицидов переходных металлов на кремнии. Цель исследования: Установление закономерностей процессов формирования фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов. Методы исследования и аппаратура: Методы физико-химического анализа пленок. Теоретические результаты и новизна: Научные основы создания новых технологических режимов формирования структурно-фазовых состояний пленок силицидов переходных металлов на кремнии. Эффективность внедрения: Экономический эффект за период 1984-1990 гг - 8 млн.76 тыс. руб. Сфера (область) использования: Предприятия микроэлектроники. Дата реєстрації 1993-03-14 Додано в НРАТ 2021-03-17 Закрити
Дисертація докторська
Формирование фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов переходных металлов на кремнии
Макогон Юрий Николаевич. Формирование фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов переходных металлов на кремнии : д.т.н. : спец.. 01.04.07 - Фізика твердого тіла : дата захисту 1993-10-20; Статус: Захищена; Научно-исследовательский институт прикладной электроники при Национальном техническом университете Украины "КПИ". – , 0593U000370.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-27


Роздрукувати цю сторінку