Реєстраційний номер
0594U000003, Докторська дисертація
На здобуття
д.ф.-м.н.
Дата захисту
24-12-1993
Статус
Захищена
Назва роботи
Фотостимулированная диффузия в тонкослойных светочувствительных структурах полупроводник-металл
Здобувач
Индутный Иван Захарович,
Опонент Шейнкман М.К.
Опонент Кувшинский Н.Г.
Опонент Курик М.В.
Установа, організація, у вченій раді якої відбудеться/відбувся захист
Научно-производственный центр "Пролог"
Опис
Объект исследования: Тонкослойные структуры на основе халькогенидных полупроводников, и галогенидов. Цель исследования: Изучение фотостимулированных процессов в светочувствительных структурах, разработка высокоразрешающих регистрирующих сред. Методы исследования и аппаратура: Оптическое пропускание, отражение, ИК-спектроскопия, эллипсометрия, электрофизические измерения, масс-спектроскопия. Теоретические результаты и новизна: Установлен механизм низкотемпературной фотостимулированной диффузии в светочувствительных структурах ХСП. Практические результаты и новизна: Разработаны физико-технические основы практических применений высокоразрешающих регистрирующих сред. Предмет и степень внедрения: Неорганические резисты на основе халькогенидов. Сфера (область) использования: Изготовление оптотехнических элементов, запись рельефных голограмм.
Дата реєстрації
1999-05-17
Додано/оновлено в НРАТ
2020-05-18 / 2026-06-30
