Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2110U000890, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Стаття Назва роботи Application of focused charge‐particle beams of in manufacturing of nanocomponents  Автор Дата публікації 01-01-2010 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3912 Видання Telecommunications and Radio Engineering Опис Application of focused beams of medium energy light ions, electrons and low energy heavy ions is considered for the technology of manufacturing of small-dimension components. Physical principles applied as the basis for interaction of the above beams with resistive materials are described. The proton beam lithography is considered as a new technology possessing high potential capabilities for various applications like micro-optics and nanoelectronics of terahertz wave band.  When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3912 Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити