Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2112U001693, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Thesis Назва роботи Процессы прохождения пучков заряженных частиц в материальных средах Автор Дата публікації 01-01-2012 Постачальник інформації Сумський державний університет Першоджерело http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27619 Видання Издательство СумГУ Опис В связи с ограничениями оптической литографии, связанными с явлением дифракции, сравнительно недавно появилась технология нового поколения – ионная литография, в которой применяется прямое экспонирование сфокусированным пучком заряженных частиц. Определенный интерес в разработке таких литографических технологий высокого разрешения связан с возможностью преодоления трудностей при создании структур с размерами ниже 100 нм. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27619 Додано в НРАТ 2025-05-12 Закрити