Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2125U001143, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Бакалаврська робота Назва роботи Іонно-індуковані структурно-фазові перетворення в багатошарових плівкових композиціях [Ni/Ti]x3 Автор Дата публікації 01-01-2025 Постачальник інформації Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» Першоджерело https://ela.kpi.ua/handle/123456789/74497 Видання Київ Опис Метою дипломної роботи є дослідження іонно-індукованих структурно-фазових перетворень у багатошарових тонкоплівкових композиціях [Ni/Ti]x3, осаджених на кремнієву підкладку методом магнетронного розпорошення. Для цього проведено іонну імплантацію іонами Ar⁺ та N⁺ з енергією 110 кеВ та подальший аналіз за допомогою рентгеноструктурного фазового аналізу та вторинної іонної мас-спектрометрії. У результаті встановлено, що іони Ar⁺ спричиняють перемішування шарів Ni та Ti з утворенням NiTi-фази, тоді як іони N⁺ індукують формування дифузійно-бар’єрних прошарків TiN, які перешкоджають фазоутворенню. Додано в НРАТ 2025-08-18 Закрити