Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2125U001764, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Бакалаврська робота Назва роботи Електронно-променева літографія на базі сканувального електронного мікроскопа Автор Дата публікації 01-01-2025 Постачальник інформації Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» Першоджерело https://ela.kpi.ua/handle/123456789/75187 Видання Київ Опис Об'єктом дослідження є процес формування мікро- та наноструктур за допомогою електронно-променевої літографії у сканувальному електронному мікроскопі. Предметом дослідження є технологічні параметри, режими експонування та особливості взаємодії електронного променя з матеріалами електронного резисту, які впливають на якість і точність виготовлення прототипів електронних компонентів. Метою роботи є дослідження можливостей і розробка підходів до застосування високоточної електронно-променевої літографії на базі сканувального електронного мікроскопа для виготовлення прототипів електронних компонентів із нанометровою точністю. У першому розділі представлено огляд літератури щодо високоточної електронно-променевої літографії на базі сканувального електронного мікроскопа. У другому розділі розглянуто класифікацію методів та етапи виробництва електронних компонентів. У третьому розділі досліджено застосування методу електронно-променевої літографії для створення експериментальних зразків та прототипування у лабораторних умовах. У четвертому розділі представлено переваги та обмеження електронно-променевої літографії на базі сканувального електронного мікроскопа. Додано в НРАТ 2025-09-01 Закрити