Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 2125U001768, Матеріали видань та локальних репозитаріїв Категорія Бакалаврська робота Назва роботи Електронна мікроскопія для дослідження нанорозмірних структур Автор Дата публікації 01-01-2025 Постачальник інформації Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» Першоджерело https://ela.kpi.ua/handle/123456789/75201 Видання Київ Опис Об’єкт дослідження – електронна мікроскопія як інструмент вивчення наноструктур. Предмет дослідження – нанорозмірні структури в мікро- та наноелектроніці. Мета роботи – проаналізувати основні методи електронної мікроскопії, зокрема СЕМ і ТЕМ, для дослідження наноструктур; вивчити їх переваги, застосування та порівняти з іншими методами аналізу; ознайомитись з реальними прикладами застосування в напівпровідниковій та епітаксійній технологіях. У роботі проведено системний аналіз сучасних методів дослідження наноматеріалів, окреслено роль електронної мікроскопії як одного з найбільш ефективних способів візуалізації структур на атомному рівні. Детально розглянуто принципи роботи, будову, режими візуалізації скануючої (SEM) та трансмісійної (TEM) електронної мікроскопії. Наведено приклади аналізу квантових точок, нанодротів, тонких плівок, а також підповерхневих дефектів у напівпровідникових матеріалах. Проаналізовано перспективні напрямки розвитку електронної мікроскопії, зокрема 3D-реконструкцію, машинне навчання та кріо-ЕМ. Додано в НРАТ 2025-09-01 Закрити