Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0101U004340, ( 0203U008834  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Moдульна установка плазмово-фотостимульованого формування плівок з надтвердих матеріалів Керівник роботи Литовченко В.Г., Дата реєстрації 04-07-2001 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Метою роботи є проектування, розробка ескізної документації та створення експериментальної модульної установки плазмово-фотостимульованого формування плівок з надтвердих матеріалів (алмазоподібних вуглецевих та карбідокремнієвих Додано в НРАТ 2024-12-11 Закрити