Керівник: Литовченко В.Г.. Moдульна установка плазмово-фотостимульованого формування плівок з надтвердих матеріалів.
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0101U004340
Оновлено: 2026-11-05