Керівник: Семенов О.В.. Дослідження процесів низкотемпературного утворення ,модификації та властивостей нанокристаличних плівок на основі карбіду кремнію.
Інститут монокристалів НАН України. № 0103U003082
Оновлено: 2026-10-23
