Реєстраційний номер
0110U006385,
(
0212U000447
)
Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення нанотехнологій молекулярно-променевої епітаксії та сфокусованих іонних пучків для їх використання на виробництві нанотехнологічного комплексу "НаноФАБ"
Керівник роботи
Галстян Геворк Гагикович,
Дата реєстрації
17-05-2011
Організація виконавець
Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука"
Опис роботи
Розроблення нанотехнологій на базі високо-вакуумного трьохмодульного нанотехнологічного комплексу "НаноФаб" з численними реалізованими методиками сканувальної зондової мікроскопії для проведення процесів послідовної локальної модифікації поверхні твердотільних зразків з використанням сфокусованих іонних пучків, а також для проведення технологічних процесів одночасно по всій поверхні зразка (пластин).
Додано/оновлено в НРАТ
2024-12-10
