Реєстраційний номер
0115U003166,
(
0216U000570
0217U000513
0218U002175
)
Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка та дослідження характеристик імпульсного високочастотного генератора для стимуляції іонно-плазмового осадження покриттів
Керівник роботи
Фаренік Володимир Іванович,
Дата реєстрації
20-02-2015
Організація виконавець
Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України
Опис роботи
Теоретичні дослідження можливості оптимізації високочастотного імпульсного генератора, математичне моделювання режимів роботи генератора, розробка, виготовлення і налагодження імпульсних високочастотних генераторів для здійснення очищення робочої поверхні підкладинки та ВЧ стимуляції процесів формування наноструктурованих покриттів іонно-плазмовими методами осадження. Експериментальні дослідження режимів роботи генератора та впливу високочастотних імпульсів на фізико-механічні, структурні та фазові характеристики синтезованих покриттів.
Додано/оновлено в НРАТ
2024-12-10
