Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0119U101491, ( 0220U101253  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Створення та випробування модифікованого магнетрону для осадження нових функціональних наноматеріалів Керівник роботи Васін Андрій Володимирович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 18-04-2019 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Виготовлення та іспит експериментального магнетронного вузла з керованим ступенем розбалансування магнітної системи на базі універсального вакуумного поста ВУП-5. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити