Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0120U101035, ( 0225U001670  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Формування пучка в установках протонно-променевої літографії високої роздільної здатності. Керівник роботи Пономарьов Олександр Георгійович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 26-02-2020 Організація виконавець Інститут прикладної фізики Національної академії наук України Опис роботи Мета наукової роботи полягає у розробці зондоформуючих систем з корекцією аберацій для установок протонно-променевої літографії, що дасть можливість поліпшити їх роздільну здатність за рахунок зменшення сфокусованого пучка до розмірів <10 нм. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити