Реєстраційний номер
0120U101035,
(
0225U001670
)
Науково-дослідна робота
Назва роботи
Формування пучка в установках протонно-променевої літографії високої роздільної здатності.
Керівник роботи
Пономарьов Олександр Георгійович, Доктор фізико-математичних наук
Дата реєстрації
26-02-2020
Організація виконавець
Інститут прикладної фізики Національної академії наук України
Опис роботи
Мета наукової роботи полягає у розробці зондоформуючих систем з корекцією аберацій для установок протонно-променевої літографії, що дасть можливість поліпшити їх роздільну здатність за рахунок зменшення сфокусованого пучка до розмірів <10 нм.
Додано/оновлено в НРАТ
2024-12-10
