Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0225U001670, (0120U101035) , Науково-дослідна робота Назва роботи Формування пучка в установках протонно-променевої літографії високої роздільної здатності. Назва етапу роботи Формування пучка в установках протонно-променевої літографії високої роздільної здатності. Керівник роботи Пономарьов Олександр Георгійович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 04-02-2025 Організація виконавець Інститут прикладної фізики Національної академії наук України Опис роботи Мета наукової роботи полягає у розробці зондоформуючих систем з корекцією аберацій для установок протонно-променевої літографії, що дасть можливість поліпшити їх роздільну здатність за рахунок зменшення сфокусованого пучка до розмірів <10 нм. Опис етапу  Зроблено огляд сучасного стану експериментальних установок протонно-променевої літографії, визначено їх недоліки та встановлено шляхи їх удосконалення. Побудовано формалізм та розроблено програмне забезпечення визначення іонно-оптичних характеристик октупольної лінзи на основі методу матрицантів з урахуванням хроматичних та сферичних аберацій. Побудовано формалізм та розроблено програмне забезпечення повної та часткової корекції власних сферичних аберацій в квадрупольних зондоформуючих системах протонно-променевої літографії на підставі оптимізації приведеного колімованого аксептансу. Проведено дослідження квадрупольних зондоформуючих систем високої роздільної здатності з корекцією сферичних аберацій для пучків іонів з нерівномірним розподілом часток у фазовому просторі. Досліджено зондоформуючу систему на базі однопараметричного розподіленого квадруплету магнітних квадрупольних лінз, в якому перша лінза має незалежне живлення, а три останні лінзи підключені до двох джерел струму. Удосконалено канал ядерного скануючого мікрозонду в режимі протонно-променеовї літографії. Розроблено систему швидкого скідання пучка з оптичної осі. Автоматизовано систему вимірювання параметрів сфокусованого пучка на мішені. Розроблено векторний метод сканування сфокусованим пучком по поверхні зразка. Провдено пілотні експерименти протонної літографії на новому органичному матеріалі хітозан. Опис продукції Автори роботи Ігнатьєв Ігор Геннадійович Возний Віталій Іванович Журакулов Владислав Вячеславович Козачок Олена В'ячеславівна Колінько Сергій Володимирович Магілін Дмитро Владиславович Положій Гліб Євгенович Пономарьов Олександр Георгійович Ребров Володимир Анатолійович Саливон Вадим Феліксович Шульга Дмитро Петрович Додано в НРАТ 2025-02-04 Закрити