Реєстраційний номер
0208U006920,
0107U008291
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
ZnMnO, GeMn та подібні тонкоплівкові матеріали та наноструктури для спінтронних приладів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Горлей Петро Миколайович,
Дата реєстрації
24-12-2008
Організація виконавець
Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича
Опис етапу
Встановлено оптимальні режими магнетронного високочастотного розпилення, які дозволяють одержувати для нелегованого та легованого кобальтом оксиду цинку якісні плівки без проколів і тріщин з хорошою адгезією до поверхні підкладки. Досліджено вплив відстані мішень-підкладка, потужності на катоді та тиску робочого газу в камері на швидкість осадження плівок оксидів металів (ZnO і ZnO:Co) при магнетронному методі. Запропоновано емпіричну формулу, яка описує залежність швидкості осадження плівок ZnO і ZnO:Co від тиску робочого газу при постійних значеннях потужності на магнетроні та температури підкладки. Показано, що спектр фотолюмінісценції (ФЛ) для ZnO за величиною досить добре корелює з літературними даними.
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
