Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0209U002763, 0107U005194 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення методів діагностики наноструктур у процесі виробництва та створення на їх основі сучасної діагностичної лабораторії загального користування Назва етапу роботи Керівник роботи Ларкін Сергій Юрійович, Дата реєстрації 13-03-2009 Організація виконавець Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука" Опис етапу Розроблено методики вимірювань і прототипи вимірювального устаткування лабораторії колективного користування для контролю параметрів вироблюваних виробів мікроелектроніки. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити