Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0210U003420, 0107U002295 , Науково-дослідна робота Назва роботи Теоретичні та експериментальні дослідження плазмових методів синтезу композиційних наноструктур з прогнозованими параметрами Назва етапу роботи Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 03-02-2010 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України Опис етапу Досліджено фізико-технологічні аспекти синтезу нанорозмірних плівок Ti-O-N та Cr-O-N методами іонно-променевого розпилення та іонно-стимульованого осадження і оптимізації процесів отримання нанорозмірних функціональних плівок та наногетероструктур з наперед заданими властивостями. Створена методика синтезу ультратонких (? 5 нм) суцільних плівок нітридів та оксінітридів металів за допомогою слаботокового іонно-променевого розпилення та осадження у контрольованому вакуумному середовищі. Розроблена мікропроцесорна система синхронізації та управління процесом іонно-стимульованого синтезу нанорозмірних плівкок та наноструктур. Проведено комплексне дослідження нанорозмірних плівок Ti-O-N, одержаних методом іонно-променевого розпилення, та межі розподілу плівка-підкладка методом ренгенівської фотоелектронної спектроскопії. Детально показано вплив температури підкладинки під час іонно-променевого синтезу та температурного відпалу на хімічний стан та дифузійні властивості структур Ti-O-N/Si. Проведено дослідження радіаційно-індукованих процесів накопичення елементів залишкового вакуумного середовища в плівках Cr-O-N нанорозмірної товщини, отриманих методом іонно-стимульованого осадження з енергією пучка асистуючих іонів азоту E=30 кеВ. Опис продукції Автори роботи Береснєв Вячеслав Мартинович Кропотов Олександр Юрійович Приходько Володимир Іванович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити